雙級旋片真空泵的工作原理和適用特點(diǎn)分析
瀏覽次數(shù):4382發(fā)布日期:2023-03-02
雙級旋片真空泵由兩個(gè)工作室組成,兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉(zhuǎn);一般流程中被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入高真空級,經(jīng)過高真空級壓縮后再經(jīng)通道進(jìn)入到低真空級再度進(jìn)行壓縮;但在抽氣剛開始時(shí),一般情況下真空室的壓力本身較高,被抽氣體經(jīng)過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達(dá)到排氣壓力,此時(shí)壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分,另外一部分繼續(xù)進(jìn)入低真空級進(jìn)行壓縮排放;抽到一定程度后,進(jìn)氣壓力變小,這時(shí)經(jīng)過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力,這時(shí)輔助排氣閥就會關(guān)閉,氣體會全部經(jīng)通道進(jìn)入低真空級壓縮后排出。
雙級旋片真空泵的特點(diǎn);
l、該泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一,它可單獨(dú)使用,也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用,廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實(shí)驗(yàn)室裝備等。
2、真空泵在環(huán)境溫度5℃~40℃范圍內(nèi),進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于10托的條件下,允許長期運(yùn)轉(zhuǎn),被抽氣體相對溫度大于90%時(shí),應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。
3、真空泵進(jìn)氣口連續(xù)敝通大氣運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過3分鐘.
4、真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體,以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體。
雙級旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片,將定子分隔成兩個(gè)工作腔(高、低級工作腔),旋轉(zhuǎn)時(shí),雙級旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動,使得高級工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣,低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體,借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣,從而獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時(shí)(例如從大氣壓開始吸氣),氣體在高級腔被壓縮,壓力急增,則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出,另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的級間通道進(jìn)入低級腔,再次壓縮后從低級排氣閥排出,此時(shí)高低級腔同時(shí)排氣;當(dāng)吸入壓強(qiáng)較低時(shí)(例如泵工作一段時(shí)間之后),氣體由吸氣口進(jìn)入高級腔,氣體在高級腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進(jìn)入低級工作腔,再次壓縮后從低級排氣閥排出。